Con un CGPA de 9.3 en uno de los NIT en el sur, ¿cuáles son los otros criterios que deben cumplirse para obtener una maestría en TUM o RWTH Aachen?

Yo recomendaría leer esta respuesta. Le dará una idea sobre los maestros en derecho y Alemania en general.
La respuesta de Abhinav Ram a la maestría. programa en TU Delft (Mech. Eng, Control Eng Track) y RWTH Aachen (Msc. CAD y Producción en ME) ¿Cómo se comparan frente a frente? (Programa-sabio y Uni-sabio)?

Respecto a los criterios a cumplir:

1. Necesitas un buen cgpa que ya tienes. Eso es bueno.
2. Debe haber realizado un buen trabajo co-curricular como publicaciones, patentes, etc., si lo ha hecho.
3. Debe tener una carta de intenciones y recomendaciones fuertes.

Generalmente. Los puntajes gre, toefl, gate son solo filtros para los evaluadores. Tener puntajes altos en estos no necesariamente garantiza una admisión. La intención y el propósito de su aplicación es muy importante para ellos. Así que concéntrate en tu carta de intención.

Hágame saber si necesita más información. Encantado de ayudar.